單價26億元 ASML下一代EUV光刻機核心部件到貨


荷蘭ASML公司今天發佈2022年第二季度財報,當季凈銷售額為54.31億歐元,好於市場預期的52.6億歐元,上年同期為40.20億歐元,同比增長35%。毛利潤為26.65億歐元,上一季度為17.31億歐元,上年同期為20.45億歐元;毛利率為49.1%,上一季度為49.0%。凈利潤為14.11億歐元,上年同期為10.38億歐元,同比增長36%。

Q2新增訂單金額為84.61億歐元,其中包括54億歐元的EUV訂單,較上一季度的新增訂單金額69.77億歐元環比增長21%。

本季度中,ASML公司出貨12臺EUV光刻機,比Q1季度的3臺大幅增長,之前因為種種原因限制出貨。

值得一提的是,在本季度中,ASML公司下一代的高NA孔徑EUV光刻機獲得重大突破,已經收到來自供應商的物鏡、光源及工作臺,這也是光刻機的三大核心部件,關系著光刻機的正常運行。

根據ASML的消息,相比目前NA孔徑隻有0.33的光刻機,下一代的EUV光刻機NA孔徑提升到0.55,有望進一步提高芯片工藝,是制造2nm及以下工藝的關鍵設備。

高NA孔徑的EUV光刻機價格也會大幅上漲,相比目前單臺10億元的價格,下一代光刻機價格要暴漲到4億美元,人民幣26億元以上,原型機預計2023年上半年完工,2025年首次投入使用,2026年到2030年主力出貨。

Intel是第一個下單新一代EUV光刻機的,首批4臺應該都是他們的,不過三星及臺積電也下單,後面也會角逐新一代工藝。


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