據彭博社報道，ASML新一代EUV每臺耗電約1百萬瓦，三星、臺積電等芯片制造大廠能源消耗巨大；臺積電對化石燃料高度依賴，2025年耗能估占中國臺灣省的12.5%。世界僅此一傢的EUV公司ASML，旗下新一代的EUV光刻機耗資高達1.5億美元，包含10萬個部件和長達2公裡的佈線。
EUV光刻機體現著更先進芯片的制造過程正變得復雜和能源密集。ASML當前每臺EUV的額定耗電量約為1百萬瓦，約為前幾代設備的10倍，但由於沒有替代品來制造最先進的半導體，芯片行業可能成為減少全球碳排放的重要絆腳石。
臺積電為業界擁有最多EUV光刻機的公司，公司目前已有超過80臺EUV，新一代設備還在安裝中。預計到2025年，僅臺積電一傢公司就將占全中國臺灣省整體能源消耗的12.5%，遠高於2020年時的6%。
除臺積電外，另一儲存芯片制造大廠美光科技計劃在位於中國臺灣的工廠使用至少一臺EUV光刻機。據彭博分析師CharlesShum稱，在三年內，中國臺灣代工廠中四分之一的芯片制造將使用EUV光刻機。
對於芯片制造的能源消耗問題，環保組織綠色和平（Greenpeace）氣候能源項目主任鄭楚忻曾表示，缺電必然發生，其他行業將受其牽連。比利時微電子研究中心（Imec）Lars-AkeRagnarsson指出，在使用高耗能設備的芯片廠，再生能源變得緊急且必要。
彭博社提出，芯片制造對環境的影響將取決於用電來源。據悉，臺積電高度仰賴化石燃料。2016年，中國臺灣當局制定目標，即到2025年實現20%的電力來自可再生能源，但其7月發佈的最新能源評估顯示，截至2021年底，其電力隻有6%來自可再生能源。
韓國芯片制造巨頭三星也面臨著類似的能源消耗問題。三星在韓國擁有六個半導體制造基地，2021年占其功耗的3%。為爭取更多的客戶訂單來和臺積電競爭，三星正在擴大對EUV的使用。該公司未公開說明擁有機器的數量。6月初，三星集團負責人JayLee前往荷蘭與ASML達成新的交易。