EUV光刻機是半導體制造中的核心設備,隻有ASML公司才能生產,單臺售價約10億人民幣,之前三星、臺積電等公司還要搶著買,然而今年半導體形勢已經變,EUV光刻機反而因為耗電太多,臺積電計劃關閉省電。來自產業鏈的消息人士手機晶片達人的消息稱,由於先進制程產能利用率開始下滑,而且評估之後下滑時間會持續一段周期,臺積電計劃從年底開始,將部分EUV設備關機,以節省EUV設備巨大的耗電支出。
據解臺積電目前擁有大約80臺EUV光刻機,主要用於7nm、5nm及以下的先進工藝,今年9月份還會量產3nm工藝,都需要EUV光刻機,然而隨著PC、手機、顯卡等產品的需求下滑,先進工藝生產的芯片勢必會受到影響。
蘋果今年的iPhone 14 Pro系列的A16處理器也沒有急著上3nm工藝,還在用4nm工藝,此外蘋果還因為3nm能效問題,取消初代3nm生產芯片的計劃。
相比之前的DUV光刻機,EUV光刻機需要使用高能激光器,而且光線會多次折射導致損耗極大,早期效率隻有0.02%,現在量產的說是可以達到2%效率,但也意味著絕大多數電力都要消耗掉。
EUV光刻機生產一天需要3萬度電左右,一年耗電大約1000萬度,是十足的電老虎。