這幾年,Intel以空前的力度推進先進制程工藝,希望以最快的速度反超臺積電,重奪領先地位,現在又重申這一路線,尤其是意欲通過未來的14A1.4nm級工藝,在未來鞏固自己的領先地位。目前,Intel正在按計劃實現其“四年五個制程節點”的目標,Intel7工藝、采用EUV極紫外光刻技術的Intel4和Intel3均已實現大規模量產。
其中,Intel 3作為升級版,應用於服務器端的Sierra Forest、Granite Rapids,將在今年陸續發佈,其中前者首次采用純E核設計,最多288個。
Intel 20A和Intel 18A兩個節點正在順利推進中,分別相當於2nm、1.8nm,將繼續采用EUV技術,並應用RibbonFET全環繞柵極晶體管和PowerVia背面供電技術。
憑借它們兩個,Intel希望能在2025年重奪制程領先性。
之後,Intel將繼續采用創新技術,推進未來制程節點的開發和制造,以鞏固領先性。
其中一個關鍵點就是High NA EUV技術,而數值孔徑(NA)正是衡量收集和集中光線能力的指標。
通過升級將掩膜上的電路圖形反射到矽晶圓上的光學系統,High NA EUV光刻技術能夠大幅提高分辨率,從而有助於晶體管的進一步微縮。
作為Intel 18A之後的下一個先進制程節點,Intel 14A 1.4nm級就將采用High NA EUV光刻技術。
為制造出特征尺寸更小的晶體管,在集成High NA EUV光刻技術的同時,Intel也在同步開發新的晶體管結構,並改進工藝步驟,如通過PowerVia背面供電技術減少步驟、簡化流程。
此外,Intel還公佈Intel 3、Intel 18A、Intel 14A的數個演化版本,以幫助客戶開發和交付符合其特定需求的產品。