ASML(荷蘭阿斯麥)正抓緊研制其下一代高NA(0.55數值孔徑)的EUV極紫外光刻機,在發佈最新財報期間,AMSL透露,其存量EUV客戶均訂購新一代設備。具體來說,在Intel和臺積電之後,三星、SK海力士、美光等也下單高NAEUV光刻機。
高NA EUV光刻機允許加工更精密的半導體芯片,生產效率也更高,它也是2nm及更先進工藝的必要條件。
韓國設備商透露,現款EUV光刻機的訂貨價是2000~3000億韓元(約合10~16億元人民幣),而高NA EUV光刻機的報價翻番到5000億韓元(約合26億元)。
據解,在三季度財報中,ASML完成58億歐元的凈銷售額,毛利率51.8%、凈利潤17億歐元,公司預計四季度凈銷售額在61~66億歐元之間。
CEO Peter Wennink,其三季度預訂產品的銷售額達到創紀錄的89億歐元,其中EUV設備就有38億歐元。