在4月3日中國臺灣花蓮地區強震之後，臺積電聲明指出，關鍵設備EUV“安全無虞”，在地震10小時後產能就恢復到七成或八成，然而地震及餘震仍然對部分生產設施產生影響。供應鏈指出，此次地震致使生產中斷以及造成損失約為6200萬美元，其中，雖然EUV沒有損壞，但工廠的橫梁、柱子、墻壁和管道在地震中遭到損壞。
臺積電並未對此置評。該公司在5日發出的最新聲明中表示，除位於震幅較大地區的部分生產線需要較長的時間調整、校正以回復自動化生產外，感謝公司同仁及供應商夥伴的共同努力，臺灣晶圓廠內的設備已大致復原。臺積電還表示，全年業績展望以美元計仍將維持一月法說會的水平，全年營收預計增長低至中段二十位數百分比。
據熟悉該公司情況的人士表示，臺積電位於臺南量產N3制程的晶圓廠，和位於新竹的另一傢晶圓廠，在地震時受到相關的損害；在臺南量產N3制程的晶圓廠的部分出現橫梁斷裂，色譜管損壞、研發實驗室墻壁破裂的情況，而新竹晶圓廠則有晶圓受損、管道破裂的情況。盡管如此，最重要的機器，包括EUV等並沒有傳出損壞的消息。
雖然如今先進的現代晶圓廠可能承受住地震，且受到的嚴重損害相對較小。但重要的是，有許多支持配套業務和運營可能面臨更嚴重的破壞。因為晶圓廠還是需要持續可靠的電力以及精煉空氣、水和化學品來保持平穩生產運作。目前，在臺積電產能已經大致恢復的情況之下，相應的供應與支援應該也維持在正常水平。
TrendForce集邦咨詢指出，由於本次地震大多晶圓代工廠都位屬在震度四級的區域，加上中國臺灣地區的半導體工廠多以高規格興建，內部的減震措施都是世界頂尖水平，多半可以減震1至2級。以本次的震度來看，幾乎都是停機檢查後，迅速復工進行，縱使有因為緊急停機或地震損壞爐管，導致在線晶圓破片或是毀損報廢，但由於目前成熟制程廠區產能利用率平均皆在50~80%，故損失大多可以在復工後迅速將產能補齊，產能損耗算是影響輕微。（校對/武守哲）