Intel發佈一條特殊的開箱視頻,堪稱史上最貴:他們從ASML拿到的全球第一臺高NAEUV光刻機,已經開始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內安裝。這臺型號為TwinscanEXE:5000的光刻機著實是個龐然大物,運輸過程中動用250個貨箱,總重約150噸,先用飛機從荷蘭運到俄勒岡州波特蘭,再用卡車分批次拉到工廠。
目前安裝的還隻是核心組件,全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師,耗時約6個月,然後還得花時間調試。
這臺光刻機主要作為研究之用,將會在Intel 18A節點上進行測試,但大規模量產得等到剛剛宣佈的Intel 14A節點上,時間預計2025-2026年左右 。
該光刻機可以實現8nm的分辨率,而現有低NA光刻機單次曝光隻能做到13nm,同時晶體管密度幾乎可以增加3倍。
大傢非常關心的價格上,ASML的說法是大約3.8億美元,但這隻是起步價,更高配置自然更貴,Intel CEO帕特·基辛格透露在4億美元左右,也就是逼近29億元。
相比之下,低NA EUV光刻機約為1.83億美元。
除Intel,三星、臺積電、SK海力士也都訂購高NA EUV光刻機,首批訂單有數十臺。