三星推動開發高端EUV薄膜 追趕臺積電


光罩薄膜是極紫外(EUV)光刻工藝中的關鍵部件,指的是在光罩上展開一層薄膜,然後機器在上面繪制要在晶圓上壓印的電路,以免光罩受空氣中微塵或揮發性氣體的污染,減少光掩模的損壞。目前,光罩薄膜的供應商主要是荷蘭ASML、日本三井化學和韓國S&STech,韓國的EUV薄膜一直被外部廠商壟斷。

作為晶圓代工大廠,三星在2021就宣佈自研EUV薄膜,並在今年初自主開發出透光率達88%的EUV薄膜。

但是三星並不滿足於此,因為目前市場上也有透光率達到90%或以上的EUV薄膜,一傢是ASML,另外一傢是S&S Tech。

三星半導體近期發佈的一份招聘通知顯示,正推動開發透光率為92%的EUV薄膜,同時三星也將與外部機構合作,開發和評估由碳納米管和石墨烯制成的EUV薄膜。

三星在晶圓代工領域的老對手臺積電在2019年開始,就使用自己研發的EUV薄膜,並且在2021年時宣佈,其EUV薄膜的產能相比2019年將提高20倍。

有業內人士表示,三星推動EUV薄膜的開發,是為更快的追趕上臺積電。


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