自主研發 南大光電國產高端光刻膠通過認證 已經用於50nm工藝


快科技4月10日消息,南大廣電在互動平臺表示,該公司自主研發的高端ArF光刻膠已經通過客戶認證,並少量銷售。

南大光電表示,公司已有兩款ArF光刻膠產品分別在下遊客戶存儲芯片50nm和邏輯芯片55nm技術節點上通過認證,並實現少量銷售。

現階段驗證工作正在穩步推進,且針對同一客戶開發不同的產品,以滿足客戶的多樣化需求。

此前該公司指出,公司已建成年產5噸ArF幹式光刻膠生產線、年產20噸ArF浸沒式光刻膠生產線及年產45噸的光刻膠配套高純試劑生產線,具備ArF光刻膠及配套關鍵組分材料的生產能力,目前公司送樣驗證的產品均由該自建產線產出。

2022 年,南大光電公司實現營業收入158,123.07萬元,同比增長60.62%;歸屬於上市公司股東的凈利潤18,673.26 萬元,同比增37.07%;歸屬於上市公司股東的扣除非經常性損益後的凈利潤12,562.52萬元,同比增長78.39%。


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