據外媒報道，在美國聯合日本、荷蘭升級對於半導體設備的出口限制之後，美國正要求荷蘭盟友對中國芯片制造設備的維護施加更多限制。美國商務部負責工業和安全的副部長AlanEstevez表示：“我們正在與我們的盟友合作，確定什麼對服務重要，什麼對服務不重要。我們正在推動不對這些關鍵部件提供服務，因此我們正在與盟友進行討論。”
他補充說，美國並不打算限制設備供應商維護更多中國企業能夠自行修復的外圍部件。
對於半導體設備來說，要想持續穩定在半導體制造產線上運行，設備的維護極為的關鍵。如果這些設備離開售後維護，甚至可能會在一周之內就會出現問題。
同樣，設備的一些核心零部件也需要定期更換。據芯智訊解，ASML光刻的工件臺對準定位用的部件，一般來說，兩年就需要更換。
因此，國內的晶圓制造商如果想要維持產線的生產的穩定，產線上的ASML光刻機的核心部件的供應和維護極為關鍵。
不過，需要指出的是目前ASML受限的光刻機主要是NXT:2000i及更先進的機型，其他未受限的光刻機型銷售和維護是沒有受到影響。當然，如果相關設備零部件涉及美國技術來源，則會受到美國的出口限制。
雖然據芯智訊解，ASML在國內擁有一個維修中心，可以對於一些關鍵零部件進行維修，但是如果相關零部件屬於進口受限的，當國內光刻機相關屬於進口受限的部件損壞後無法修復，也就無能為力。
對於中荷雙方來說，在去年年底前已經出口到中國的NXT:2000i及更先進的光刻機機型，隨著許可的失效以及美方的進一步施壓，ASML後續能否繼續為這類設備提供維護則是一個懸而未決的問題。
3月26日到27日，荷蘭首相呂特在中國展開工作訪問期間，關於光刻機的相關議題也就成為外界極為關註的議題。
范呂文表示，荷蘭以貿易立國，主張自由貿易，高度重視對華經貿合作。中國是荷蘭最重要的經貿夥伴之一，荷蘭願繼續做中國可靠的合作夥伴。
荷蘭出口管制不針對任何國傢，所做決定基於獨立自主的評估，並在安全可控前提下盡可能降低對全球半導體產業鏈供應鏈的影響。期待兩國進一步拓展綠色轉型、養老服務等領域合作。
另據外媒報道，范呂文在當地時間3月26日接受荷蘭媒體采訪時曾表示，他將捍衛ASML的利益視為首要任務。但他也表示，“我們和合作夥伴的國傢安全因素會放在經濟利益之前。”
荷蘭首相呂特3月27日在訪問中國期間淡化中荷之間在ASML制造的設備出口限制問題上的沖突。呂特拒絕回答關於荷蘭政府是否會拒絕向ASML頒發許可證，讓其繼續為這些中國客戶提供維護服務的問題。美國方面希望荷蘭拒絕發放許可證。
呂特說：“當涉及到我們的半導體行業和像ASML這樣的公司時，當我們不得不采取（出口限制）措施時，荷蘭會確保這些措施絕不會專門針對某個國傢，我們總是努力確保影響是有限的。”