深圳一企業造出可測1納米的工業尺子:能直接測量芯片


快科技12月7日消息,據央視財經日前報道,其專精特新 制造強國”系列節目報道深圳市中圖儀器股份有限公司。

該公司歷經18年用心打磨15把硬核科技尺”,從納米到百米,從接觸式到非接觸式,不斷拓展工業測量領域全尺寸鏈條。

據公司董事長馬俊傑介紹,其公司制造的顯微測量儀,分辨率已達到0.1納米,在半導體領域已經大量使用,能夠直接測量芯片。

例如,一枚看似光滑的晶圓,在顯微測量儀下,表面看上去依然是錯落有致,經過測量,高度差僅有6.1納米,但還是需將它切割成更小的方塊,才能使用。

此外,他們公司生產的閃測儀,測量速度非常快,他手機上的一塊精密結構件,隻需要幾秒鐘,幾百個尺寸直接顯示出來,而且達到微米級的精度。

除微小結構件外,他們團隊也能測量巨型工業工件,研發的激光跟蹤儀能夠測量百米尺寸,是唯一同時具有微米級別測量精度,和百米工作空間的高性能光電儀器。

據悉,馬俊傑畢業於清華大學精密儀器專業,後在研究所工作期間,他發現實驗室裡的精密儀器全都來自國外,這讓他產生創業做國產幾何測量儀的想法。

雖然他們公司18年來隻做15臺測量儀,但是每一臺都極具特色,均能解決工業生產中的測量痛點問題。


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